（1）内置式臭氧消毒机：将臭氧发生器直接放在空调净化系统的风道中称为内置臭氧发生器。臭氧随着风道的气流，送入各洁净区，对洁净区进行消毒灭菌，剩余臭氧吸入回风口，由中央空调带走。
（2）外置式臭氧消毒机：可以将臭氧发生器放在中央空调风口的外面，将臭氧打入中央空调的风道中，然后被送入各洁净区，或采用台式自带风机臭氧发生器，多点设计将臭氧散布在洁净区内，统称为外置式臭氧发生器。外置式臭氧发生器安装检修方便，但制造成本要高一点。
（3）布置管道臭氧消毒机：采用臭氧发生器连接PVC气管系统，在车间顶部布设管道，将臭氧送入洁净区。
