大流量低温等离子废气治理装置为意义上的等离子体废气治理技术。所要治理的废气通过等离子体区,使之离子化,形成电离状态,在高能电子和粒子的轰击下,加之等离子体态中丰富的氧化活性基团,在较短的时间类分解反应成为二氧化碳、水或是小分子化合物。而非单纯的依靠臭氧来氧化反应。